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在線TOC分析儀在電子行業(yè)(單晶硅)沖洗水TOC檢測(cè)的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2023-02-28

電子芯片清洗對(duì)其用水要求極為嚴(yán)格,如果沖洗水的雜質(zhì)過多,某些元素超標(biāo)的話,會(huì)對(duì)企業(yè)的生產(chǎn)運(yùn)行產(chǎn)生隱患。因此,對(duì)于這些指標(biāo)進(jìn)行監(jiān)測(cè)就是工廠在日常運(yùn)行當(dāng)中必須要進(jìn)行的重要工作,而這其中,TOC就是一項(xiàng)重要的指標(biāo)。

TOC(總有機(jī)碳)指的是水中以各種有機(jī)物形式存在的碳的總量。包括易被一般強(qiáng)氧化劑氧化的有機(jī)物和需用特殊方法氧化的有機(jī)物。對(duì)于電子行業(yè)來說,沖洗水中含有超標(biāo)的TOC可能使工廠面臨巨大的風(fēng)險(xiǎn)損失,例如有機(jī)物的碳化沉積和腐蝕性引起芯片、電子元件和晶元的缺陷等。

電子級(jí)水TOC標(biāo)準(zhǔn)

我國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《GB/T 11446.1-2013電子級(jí)水》中對(duì)TOC(總有機(jī)碳)的含量做出了明確的規(guī)定。

電子級(jí)水:電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水。

分類:電子級(jí)水分為4個(gè)類別,Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)和Ⅳ級(jí)。

TOC(總有機(jī)碳)的含量:

Ⅰ級(jí)≤20ug/L;

Ⅱ級(jí)≤100ug/L;

Ⅲ級(jí)≤200ug/L;

Ⅳ級(jí)≤1000ug/L。

Bebur(巴倍爾)在線TOC分析儀

Bebur(巴倍爾)在線TOC分析儀采用UV法(紫外光譜)原理檢測(cè)水中的TOC數(shù)值,無需化學(xué)試劑,無需取樣或預(yù)處理系統(tǒng),可以減少用戶現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)量。

在線TOC分析儀在電子行業(yè)(單晶硅)沖洗水TOC檢測(cè)的應(yīng)用
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